極紫外和軟X射線光波擁有極短波長和豐富的元素吸收邊，是研究納米結構，半導體器件，量子材料必不可少的工具。隨著極紫外光刻技術實現量產，極紫外光應用也正式“走入”千家萬戶。然而，迄今為止，高效率低成本產生極紫外和軟X射線光仍是困擾科學家們的一個重要難題。雖然同步輻射加速器和自由電子激光器等大型光源可解決極紫外或軟X射線應用的燃眉之急，但是其高能耗、高造價大體積和有限的數量限制了其廣泛應用。另辟蹊徑，基于極端非線性的飛秒高次諧波技術已經成為產生極紫外和軟X射線激光的最簡易方法。經過20多年技術磨練和積累，高次諧波光源已經在材料科學和半導體芯片檢測等領域應用中初露鋒芒。本報告將從極紫外激光技術的難點出發，討論高次諧波極紫外激光技術的原理及其發展現狀，并介紹其在納米成像，半導體檢測以及量子器件中的重要應用。

張曉世，中國科學院空天信息創新研究院研究員，博士生導師，中國科學院大學首席教授，國家高層次人才。中國科學技術大學學士，美國科羅拉多大學博爾德分校，美國國家標準局和實驗室天體物理聯合實驗室聯合培養博士。

張曉世研究員長期從事飛秒激光，極紫外激光，極端非線性光學以及相干衍射成像等領域的研究及其工程化和商業化應用，已逾20余年。曾任職于美國知名超快激光器公司KMLabs Inc.，先后擔任激光科學家，極紫外激光技術經理和研發首席科學家。帶領團隊研發出世界上首臺極紫外飛秒激光器，并實現商業化。研制出創世界紀錄的低溫冷卻高能量和高重頻飛秒激光器，斬獲2016年美國西部光電展會頒發的Prism Award獎和2013年美國CLEO展會頒發的Laser Focus World創新一等獎。曾在PRL、Nature Physics、Nature Photonics、Optica等國際知名期刊發表論文共50余篇，被SCI引用逾5000次，在國際國內重要的學術會議上做邀請報告20多次。曾擔任Optics Letters的co-editor、SPIE Advanced Lithography分會委員會委員以及SPIE Photonics Asia，CIOP委員會委員。

張曉世研究員目前以項目負責人承擔國家重點研發十四五揭榜掛帥項目“高功率、高性能極紫外飛秒激光技術”、國內知名公司項目“13.5納米高次諧波極紫外光源”以及中科院創新人才項目。